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半导体硅晶片清洗工艺发展现状

在超大规模集成电路(ULSI)工艺中,晶片清洗的技术及洁净度(cleanliness)是影响晶片成品率(yield)、器件的品质(qualit)及其可靠性(
2020-02-27 13:14类目：其他清洗

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