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化学清洗工艺现状和发展方向

化学清洗工艺的研究内容很广,包括:杂质沾污的来源与类型的分析,杂质沾污对器件性能的影响;清洗剂(如有机溶剂、酸、碱、氧化剂、络合剂、净洗剂、合成洗涤剂等)的性质、清除杂质的作用原理以及清洗方法;清洗剂之…
2020-02-25 13:40类目:清洗方法汇总 标签: 化学清洗工艺

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